四氟化钛

1.以四氯化钛和氟化氢为原料制备四氟化钛，将50%的四氯化钛按化学计量比的量装入铂制或铜制的反应器中，滴加氟化氢使其反应，将反应物静置数小时，再徐徐加热，加热至200℃时蒸馏出含氟化氢的氯化氢，再继续升温至284℃以上使四氟化钛升华，经冷却即得到四氟化钛粉末产品，用密封的铜制容器贮存
2.采用铜制或铂制的锥形瓶。将装有氯化钙的铜干燥管直接装在蒸馏管的导出部分或装在倾斜的冷凝器的下部。用冰盐水冷却剂对锥形瓶进行冷却，称量以冰冷却的氟化氢量。反应必须在通风橱中进行。称取根据氟化氢量所计算的四氯化钛量的一半装入试管中，往其中滴加氟化氢。每加一滴就引起激烈的反应，并产生氯化氢气。将烧瓶内的混合物放置数小时，直到所有的冰完全溶化为止（干燥管与蒸馏管连接在一起），接着将三角烧瓶移在油浴上，用附有铅冷凝器的铜收集器替换干燥管。当油浴的温度徐徐升至200℃以上时，就可蒸馏出含有氟化氢的氯化氢。随后去掉油浴，拆除冷凝器，用喷灯火焰加热使四氟化钛升华。而积聚于铜接受器中加以密封。接受器绕以铅盘管，铅管中通水进行冷却。蒸馏管在蒸馏过程中应经常加热，使装置不致堵塞。收率90%，生成物保存在密封的铜或铁制容器内。

用于成膜材料及离子注人掺杂。在微电子工业上用于化学气体沉积，以制作低电阻、高熔点的互连线。可用作HF氟化CCl4及烯烃异构化等反应的催化剂。